特殊工況下真空泵機組的選配問題：
①抽除含有大量水蒸氣的混合氣體，或者相似具有較高蒸氣壓的氣體，如：乙醉、鹵代烴等。抽除這類氣體采用羅茨泵與水環(huán)泵的機組或者是羅茨泵與氣冷直排大氣羅茨泵的機組均可。
但是，只需被抽氣體成分不毀壞前級泵油，抽除這類氣體*經濟的設計選擇是羅茨泵與旋片泵組成的機組，在羅茨泵的進出口分別串聯冷卻器，使大量過飽和蒸汽在冷卻器中冷凝下來排走，假如前級泵采用像Ｘ－１５０單級旋片真空泵這種熱泵，機組適用性更強。
②對抽除高沸點物質的氣體，如：丙三醇（Ｃ３Ｈ８Ｏ３）等氣體，為防止這類氣體進入羅茨泵凝結堆積下來，必需進步羅茨泵的溫度，如充入高溫加熱的氮氣來進步泵溫。但應避免轉子因過熱而卡死。
③*多見的特殊工況是抽除含有大量灰分或顆粒狀雜質的氣體，普通處置辦法均應在機組入口前加裝除塵器，除塵器的選擇應依據氣體含塵量幾和塵粒大小等要素，并留意除塵器在構造設計上保證既要到達除塵目的，又要減少通導才能的損失。
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